Belum diketahui secara pasti kapan Masjid Baiturrahman ini dibangun, akan tetapi Masjid Baiturrahman tercatat pada peta yang dibuat oleh pemerintah Hindia Belanda yaitu peta yang berjudul Topografischen Dienst in 1922-1924 / Topografische Dienst.
Masjid Baiturrahman beralamat di Dusun Kemusuh, Kelurahan Banyurejo, Kecamatan Tempel. Masjid Baiturrahman memiliki luas sekitar 250 m2 . konstruksi atap menggunakan bahan kayu. Masjid Baiturrahman memiliki kesamaan dengan masjid kagungan dalem Kerisan dalam hal penggunaan tiang penyangga soko guru yang berjumlah 4. Dinding masjid ini menggunakan bahan batu bata, pasir dan semen.